近年来，随着计算机科学的进步及探测器技术的发展，工业CT的性能逐年提高。工业CT无损检测由于其适应材料广、可检测复杂零件、可确定缺陷位置和大小、检测精度高，目前已作为一种实用化的尺寸测量和无损检测手段，几何量测量方面，工业CT可以在不破坏工件结构的情况下对内外尺寸进行测量，被认为是具有前景的测量技术。

　　在先进制造中，各种复杂壳体，无论是注塑件如手机外壳等还是压铸件如汽车缸体等均具有非常复杂的内部结构和较高的加工精度要求。目前用于复杂结构零件外尺寸测量的主要为CMM，但其对内部结构尺寸的测量无能为力。X射线的穿透特点，使得复杂零件内部结构的测量成为可能，如果能够将X射线三维显微成像检测系统应用于具有精密内部构造零部件的测量中，恰好能弥补三坐标测量机的先天不足。

　　工业CT扫描测量技术是基于新的测量原理的技术。工业CT在无损检测和材料成分检测领域被广泛应用，随着对系统内、外几何特性准确测量需求增加，工业CT增加了尺寸计量应用特性。工业CT扫描测量技术成为工业CT技术的一个重要的应用领域。与其它测量仪器如CMM等相比具有多种优势。主要如下:

　　(1)工业CT能同时测量物体的外部和内部的几何形状，无需拆卸或者破坏工件;

　　(2)能够在较短的时间内获得较高的点密度;

　　(3)非接触测量。

　　但工业CT测量技术在计量化的应用中存在许多限制，如:

　　(1)存在大量复杂的影响断层成像的因素;

　　(2)还没有完整有效的校准标准;

　　(3)工业CT的测量通常是不能溯源的，很难评估测量不确定度。